2026年9月采购意向项目-6

序
号

采购项目 名称

采购品目

采购需求概况

预算 金额（万 元）

预计 采购 时间

备注

1

氮 氧 化 物 原 子 级 薄 膜 生 长 系 统

该设备专用于超高真空及反应气氛下 功能材料的外延制备与界面调控。系 统集成高功率脉冲激光、多靶材共沉 积与原位监测等模块，具备单原子层 级生长控制精度。它能有效突破氮化 物及氧化物工艺难点，实现高质量超 晶格等低维量子结构的稳定生长，为 新型存储、自旋电子学及新一代半导 体与光电薄膜的自主研发提供关键的 原子级制造平台。质量要求：所供设 备须为全新原厂正品，符合国标及行 业标准；技术参数、精度与稳定性完 全满足科研需求，并提供合格证与质 保承诺。 服务要求：免费提供上门 安装、调试、技术培训，并建立完善 的售后响应机制。 安全要求：具备 电气、高温、防爆、急停等安全防护 功能，符合实验室规范并提供安全认 证。 时限要求：严格按约定时间完 成供货、安装调试及最终验收交付。

700

2026-09