海南大学氮氧化物原子级薄膜生长系统招标预告

采购内容:氮氧化物原子级薄膜生长系统（系统集成高功率脉冲激光、多靶材共沉积与原位监测等模块，具备单原子层级生长控制精度）。 采购数量:1.0000批 主要功能或目标:该设备专用于超高真空及反应气氛下功能材料的外延制备与界面调控。系统集成高功率脉冲激光、多靶材共沉积与原位监测等模块，具备单原子层级生长控制精度。它能有效突破氮化物及氧化物工艺难点，实现高质量超晶格等低维量子结构的稳定生长，为新型存储、自旋电子学及新一代半导体与光电薄膜的自主研发提供关键的原子级制造平台。 需满足的要求:质量要求：所供设备须为全新原厂正品，符合国标及行业标准；技术参数、精度与稳定性完全满足科研需求，并提供合格证与质保承诺。 服务要求：免费提供上门安装、调试、技术培训，并建立完善的售后响应机制。 安全要求：具备电气、高温、防爆、急停等安全防护功能，符合实验室规范并提供安全认证。 时限要求：严格按约定时间完成供货、安装调试及最终验收交付。

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