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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所表面缺陷检测仪招标预告(原标题: 表面缺陷检测仪)

全部类型江苏苏州2026年05月29日

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表面缺陷检测仪
项目所在采购意向：	点击登录查看2026年5至12月政府采购意向
采购单位：	点击登录查看
采购项目名称：	表面缺陷检测仪
预算金额：	560.000000万元(人民币)
采购品目：	A****光学式分析仪器
采购需求概况：	拟采购一台表面缺陷检测仪，该仪器是半导体显示材料与芯片重点实验室建设必备的6、8寸外延材料表面缺陷的检测设备。主要用于大尺寸氮化镓、砷化镓等晶圆表面的缺陷快速检测与分类，灵敏检测影响Micro-LED外延片良率的缺陷密度和分布，以非破环性方式对晶圆面的残留异物、表面与表面下缺陷大小和形状、薄膜厚度的均匀性等进行检测，为高质量、高波长一致性的氮化镓基Micro-LED外延生长提供快速反馈。
预计采购时间：	2026-09
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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