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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所有机物化学气相沉积系统招标预告(原标题: 金属有机物化学气相沉积系统)

全部类型江苏苏州2026年05月29日

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金属有机物化学气相沉积系统
项目所在采购意向：	点击登录查看2026年5至12月政府采购意向
采购单位：	点击登录查看
采购项目名称：	金属有机物化学气相沉积系统
预算金额：	1500.000000万元(人民币)
采购品目：	A****其他电工、电子生产设备
采购需求概况：	拟采购一台金属有机物化学气相沉积系统（MOCVD），用于支撑半导体显示材料与芯片重点实验室开展高均匀性、高质量氮化镓激光器材料外延生长实验。氮化镓激光器的光效和寿命与外延材料中的杂质等点缺陷密切相关。对MOCVD设备而言，高温生长会导致反应室器壁和生长托盘上沉积较厚的AlN、AlGaN、GaN等覆盖物，由于Al-N和Ga-N等化学键较强，这些覆盖物及其内部杂质很难通过高温烘烤的方式有效去除，从而在每次高温外延生长GaN激光器材料时，这些残留的覆盖物持续分解，导致外延薄膜中产生大量非故意杂质与颗粒物，从而严重影响氮化镓激光器的光效、串联电阻和电压，进而影响氮化镓激光器的输出光功率与寿命。
预计采购时间：	2026-06
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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