中国科学院微电子研究所SiGe/GeFinICP刻蚀机和SiGe/Si叠层高选择性远程等离子源ALE刻蚀腔采购项目中标公告
北京北京2024年07月02日
一、项目编号:****(招标文件编号:****)
二、项目名称:点击登录查看SiGe/Ge Fin ICP刻蚀机和SiGe/Si叠层高选择性远程等离子源ALE 刻蚀腔采购项目
三、中标(成交)信息
供应商名称:北京北方华创微电子装备有限公司
供应商地址:北京市****
中标(成交)金额:792.****(万元)
四、主要标的信息
序号 | 供应商名称 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数量 | 货物单价(元) |
1 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | SiGe/Ge Fin ICP刻蚀机;SiGe/Si叠层高选择性远程等离子源ALE 刻蚀腔 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | NMC 508SES;NMC 508SVM | 1套;1套 | / |
五、评审专家(单一来源采购人员)名单:
闫树刚(专家组长)、徐永祥、蔡继勇、王东明、李俊杰(用户代表)
六、代理服务收费标准及金额:
本项目代理费收费标准:按照国家计委招标代理服务费暂行标准[2002]1980号文件中规定的货物采购收费比率。
本项目代理费总金额:8.236000 万元(人民币)
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
本项目采用综合评分法,中标供应商的评审总得分87.60分。
九、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称:点击登录查看
地址:北京市****
联系方式:点击登录查看 ****
2.采购代理机构信息
名 称:点击登录查看
地 址:北京市****
联系方式:迟兆洋、芮虎峥、荀笑尘 ****/****@oitc.com.cn 、****@oitc.com.cn
3.项目联系方式
项目联系人:迟兆洋、芮虎峥、荀笑尘
电 话: ****/0548