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南方科技大学场发射扫描电子显微镜采购项目意向公开

全部类型广东深圳2026年07月10日

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采购单位:	点击登录查看
项目名称:	场发射扫描电子显微镜采购项目
预算金额（元）:	3,460,000.000
采购品目:	其他仪器仪表
采购需求概况:	实验室长期开展低维材料微纳器件制备、小尺寸微纳结构光刻加工、精密电极图形化制备相关科研工作，是低维凝聚态物理、半导体和超导器件方向的核心研究内容。现有设备无法进行高精度电子束光刻加工：普通扫描电镜分辨率不足以观测几十纳米级微结构，电子束曝光设备无法完成纳米级精细掩模光刻、金属电极蒸镀前的图形制备，长期外送加工存在周期长、样品污染、工艺参数保密、无法原位观测加工效果等问题，制约小尺寸器件、新型微纳结构的研发进度。拟采购该设备，将实现从材料表征、原位观测到纳米光刻、电极图案制备的一体化实验，支持量子器件、光电子器件等前沿研究，大幅提升实验室在微纳加工领域的精度与效率。
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联系电话:	****
预计采购时间:	2026-08
备注:	无

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