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中山大学先进制造学院半导体晶圆端面减薄磨床采购项目

全部类型广东深圳2026年07月08日

公告详情

| 项目概况

采购类型	采购
项目编号	****
项目名称	点击登录查看先进制造学院半导体晶圆端面减薄磨床采购项目
申购主题	半导体晶圆端面减薄磨床
项目类型	货物采购	项目预算
最高限价	998,000.00(人民币)
报名及响应开始时间	**** 17:41	报名及响应结束时间	**** 12:00
采购单位	点击登录查看
经办人	点击登录查看	经办人电话	****
期望收货时间	合同签订后45天内交货
是否送货	是	送货地址	广东省深圳市****点击登录查看深圳校区理学园B114室
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用，外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http:**。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。6、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属于国务院关税税则委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（1+本项目通知磋商谈判开始时间的国务院关税税则委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。7、项目评审时，如有属于异常低价报价的情形（见报价须知），评审小组将启动异常低价报价审查程序。★投标人需声明：我单位所投产品不属于财政部发布关于在政府采购活动中对有关美国企业采取相关措施的通知中的46家美国企业（不包括在华美资企业）生产的产品（有关通知详见链接https://www.ccgp.gov.cn/news/202606/t_**.htm）。

| 采购明细

1 采购设备	半导体晶圆端面减薄磨床
数量	1台
参考品牌

“半导体晶圆端面减薄磨床”技术要求

序号	技术要求内容	评分等级	是否星号条款	是否需要附件说明
1	1.★砂轮主轴和工件主轴形式和驱动方式：空气静压主轴、直驱	重要	是	是
2	2.★砂轮主轴功率≥11KW	重要	是	是
3	3.★配备恒力磨削控制系统，控制精度优于100N	重要	是	是
4	4.砂轮主轴数量：1个，砂轮主轴转速：1000~4000r/min，砂轮主轴电流可实时监视与存储，具备主轴过载报警与保护功能	重要	否	否
5	5.工件主轴数量：1，工件主轴功率：≥1KW ，工件主轴转速：10~300r/min，可加工工件最大直径：Φ300 mm	重要	否	否
6	6.Z轴行程≥120mm，Z轴进给速度：0.0001~0.8mm/s，Z轴最小进给量：0.1μm，Z轴具有分阶段恒速进给功能	重要	否	否
7	7.Y轴行程≥550mm，Y轴进给速度：0.01~50mm/s，Y轴最小进给量：1μm	重要	否	否
8	8.具备上料工位和磨削工位	重要	否	否
9	9.工件夹持方式：多孔陶瓷吸盘真空吸附，多孔陶瓷吸盘具备反冲洗功能	重要	否	否
10	10.在线测厚系统的测量范围：0-1800mm，测量精度：±1 um	重要	否	否
11	11.可实现磨削力实时监视与存储功能，磨削力测量范围：0-28KN	重要	否	否
12	12.磨削200mmSiC片的TTV：＜3.0 um，表面粗糙度Ra＜10nm 或磨削300mmSiC片，TTV：＜5.0 um，表面粗糙度Ra＜10nm	重要	否	是
13	13.片间厚度偏差：±3 um（磨片数量≥5片）	重要	否	否
14	配置清单：磨削主机1台；水循环真空泵1台（真空度：-90KPa 最大抽气量0.86 m3/min）；配置空气干燥过滤系统1套（空气处理量≥30m3/h）；恒温冷水系统1套控制精度:±1℃ ；多孔陶瓷吸盘数量：3个（其中6、8、12英寸各一个）；配备多孔陶瓷吸盘修整砂轮数量：1片；配备8000#金刚石砂轮数量：1片	非常重要	否	是

| 资质要求

序号	要求名称	条件类型	要求内容	是否需要附件说明
1	第1条资质参数	符合性参数	上传营业执照(副本原件扫描件)	是
2	第2条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）	是
3	第3条资质参数	符合性参数	填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）	是
4	第4条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）	是

| 商务要求

序号	要求名称	要求内容	是否需要附件说明
1	免费保修年限, 整机保修，但耗材如砂轮等不保修范围的	3年 4年 5年 6年及以上	是
2	合同履约	该项目必须严格按学校合同范本执行下载地址：http:****:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意：（1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款其它付款方式选项不得选用；（2）本项目签署《点击登录查看国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。	否
3	产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）	厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）其他授权销售方式	是
4	售后服务要求	1供方在国内必须有完善的服务保障体系，包括： 1.1能够随时赴需方进行维修服务的资深工程师至少1名。 1.2供方提供设备的同时必须提供成熟的相关工艺支持。 1.3供方有计划的安排工程师定期访问并提供技术支持。 1.4设备保修期结束前一个月，供方到需方对设备进行全面检查。 1.5在设备发生故障时，供方必须在24小时内明确回复解决方案，如未能解决问题，工程师必须在48小时内到达需方现场，遇到重大故障时，保证24小时内到达需方现场。 1.6如有机型升级，供方需提前1天通知需方。 1.7对需方提出的因操作方式、数据统计、人机界面等方面需供方进行软件适应性修改完善的需求，供方应全力协助解决，并在最快时间内回复解决方案。	是
5	培训要求	1.1供方在设备安装调试完成后，安排资深工程师对需方人员进行培训。 1.2由供方提供详尽的培训计划。 1.3培训内容包括设备操作、工艺调试、维护保养和维修方面的内容。	是
6	其他	★投标人需声明：我单位所投产品不属于**财政部发布关于在政府采购活动中对有关美国企业采取相关措施的通知中的46家美国企业（不包括在华美资企业）生产的产品（有关通知详见链接https://www.ccgp.gov.cn/news/202606/t_**.htm）。	是

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