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晶圆测厚干涉仪（清采比选20260876号）采购公告

全部类型北京2026年07月07日

公告详情

项目名称	晶圆测厚干涉仪	项目编号	****
公告开始日期	**** 15:29:43	公告截止日期	**** 16:00:00
采购单位	点击登录查看	付款方式	合同签订后50%，到货验收合格后50%
联系人		联系电话
签约时间要求		到货时间要求	签订合同后65个自然日内
预算总价	￥ 350000.00
发票要求
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址	9003大楼1401B
供应商资质要求	符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明

采购清单

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
晶圆测厚干涉仪	1	套

品牌	米铱 Micro-Epsilon
型号	IMS5420
预算单价	￥ 350000.00
技术参数及配置要求	分辨率：<1 nm 测量频率：从100 Hz 至6 kHz 连续可调线性度：<±50nm 温度稳定性：温度补偿，在 +15...+35 °C 的范围内，稳定性<10ppm 光源：NIR-SLED，约840nm 的窄波带；指示激光器：激光 LED，波长635nm 电源电压：24VDC ±15% 功耗：约10W（24V）信号输入：同步输入，触发输入，2个编码器（A+，A-，B+，B-，零位信号）数字接口：以太网 / EtherCAT / RS422/ PROFINET/ EtherNet/IP 控制和显示单元：多功能按键：两种可调功能，长按 10秒后恢复出厂设置； 6个彩色 LED 指示灯，分别用于显示强度、范围、SLED、指示激光、状态和电源；指示激光：可用于辅助传感器准直。传感器测量范围：距离1mm，厚度0.01 ... 0.7mm 量程起点：1mm 温度稳定性：线性度：典型值0.1nm / K（无偏移）光斑直径：10μm 测量角度：±2° 目标材料：玻璃、镜面反射或漫反射的表面连接光路：集成真空光纤的传感器长度为2ｍ，配备 FC/APC 连接器，通过可插拔光纤 FC 插座（真空插件）进行扩展；弯曲半径：静态30mm, 动态40mm
售后服务

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