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上海大学多尺寸衬底背面对准与图案化设备招标预告

全部类型上海2026年06月17日

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多尺寸衬底背面对准与图案化设备
项目所在采购意向：	点击登录查看2026年07月政府采购意向
采购单位：	点击登录查看
采购项目名称：	多尺寸衬底背面对准与图案化设备
预算金额：	395.620000万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况：	多尺寸衬底背面对准与图案化设备1套。实现在不同尺寸、形状、材料衬底的背面精确地创建图案，并实现正面和背面图案的高精度对准，需满足正面对准精度不低于1微米，背面对准精度不低于1.5微米，图案分辨率优于1微米等技术指标。交货期，合同签订后6-8月，质保期2年。
预计采购时间：	2026-07
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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