西南技术物理研究所12寸接触式光刻机采购项目国际招标公告(1)
全部类型四川成都2026年06月05日
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 12寸接触式光刻机 | 1台 | 分辨率:≤1.5μm;单面对准精度:≤0.5μm;双面对准精度:≤1μm;光强均匀性:≤±4%;景深:≥30μm;分辨率:≤1.5μm @胶厚10μm |
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