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中国科学院高能物理研究所聚焦离子束电子束双束显微镜招标预告(原标题: 聚焦离子束电子束双束显微镜)

全部类型北京2026年06月02日

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聚焦离子束电子束双束显微镜
项目所在采购意向：	点击登录查看2026年6月政府采购意向
采购单位：	点击登录查看
采购项目名称：	聚焦离子束电子束双束显微镜
预算金额：	409.000000万元(人民币)
采购品目：	A****
采购需求概况：	拟采购一台聚焦离子束电子束双束显微镜，主要用于先进材料样品和光学元件的高精度微加工，并表征样品的表面微观结构；主要部件和技术参数如下：1.离子光学系统 1.1离子源：液态镓离子源； 1.2分辨率：≤3 nm @ 30 kV； 1.3探针电流：1 pA~100 nA； 1.4加速电压：500 V~30 kV； 2.电子光学系统 2.1电子枪：肖特基场发射电子枪； 2.2分辨率：≤0.9 nm@15kV, ≤1.6nm@1.0kV； 2.3加速电压范围：20 V～30 kV 3.配合线站建设进行相应的硬件技术改造
预计采购时间：	2026-06
备注：	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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