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西南交通大学8英寸晶圆原子力显微镜项目采购

全部类型四川成都2026年05月20日

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点击登录查看8英寸晶圆原子力显微镜项目采购
项目所在采购意向：	点击登录查看2026年6月政府采购意向
采购单位：	点击登录查看
采购项目名称：	点击登录查看8英寸晶圆原子力显微镜项目采购
预算金额：	265.000000万元(人民币)
采购品目：	A****其他信息化设备
采购需求概况：	采购项目名称：点击登录查看8英寸晶圆原子力显微镜项目采购；数量：1台；质量服务要求：供货期自第一期付款后6个月内到达用户指定地点；交货地点：点击登录查看九里校区；保修期一年。主要功能参数： (1) 样品台尺寸不小于210mm直径；(2) XY方向扫描范围：90μm x 90μm（典型值），85μm（最小值）；(3) Z方向扫描范围：10μm（典型值），9.5μm（最小值）；(4) 纵向噪音水平：<30pm RMS 值（在合适的环境，典型的成像带宽条件下(最高可达 625Hz)）；(5) XY方向闭环噪音水平：≤0.15nm RMS值（在典型的成像带宽条件下(最高可达 625Hz)）；(6) XY方向开环噪音水平：≤0.1nm RMS 值（在典型的成像带宽条件下(最高可达 625Hz)）；(7) Z方向闭环噪音水平；(8) 35pm RMS 值（在合适的环境，典型的成像带宽条件下(最高可达 625Hz)；(9) 光学系统：5百万像素数字摄像头；180μm至1465μm可视区域;数字化缩放，马达驱动聚焦。
预计采购时间：	2026-06
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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