天津工业大学多气体等离子体聚焦离子束电子束双束显微镜招标预告(原标题: 多气体等离子体聚焦离子束电子束双束显微镜)

“1.离子源种类四种，至少包含Xe+、O+、N+和Ar+； 2. 离子源可通过软件控制切换，切换时间不超过10 min； 3.离子束分辨率：20nm @ 30kV (多边法)，10nm @ 30kV (选边法) 4.离子束束流强度：2.5uA 5 .Xe+离子源寿命：4000小时，随机至少带1罐高纯Xe气. 6.具备束流测量装置。 7.配置铂沉积、钨沉积、Dx刻蚀等多种气体； 8.电子枪类型：带有单色器的肖特基场发射灯丝 9.分辨率：优于0.6nm @ 15kV；0.7nm @ 1kV； 10.束流强度0.8pA-100nA 11.样品室内径379mm 12.五轴马达驱动样品台，样品台移动范围：X/Y方向110mm，Z方向65mm，可绕Z轴旋转任意角度 (360度)，倾角-15至90度 13.最大样品直径122mm 14.最大样品高度：到偏心点的间隙85mm 15.具有样品室二次电子探测器、极靴内探测器，具有二次电子和背散射电子两种模式 、样品室红外CCD相机、样品室内样品导航相机等探测器 1.6具有主机软件集成原位样品全自动提出系统，用于制备好透射电镜样品后提出：漂移≤50nm/min；马达驱动360度无限制旋转； 17.具备微纳加工图像构建软件，不少于50个图层的加工控制 18.具有图像漂移校正和智能隔行扫描技术“