东莞理工学院集成电路学院2-4英寸InP基高频高速集成电路工艺与测试平台(I期)设备采购项目采购意向公告

序号

采购项目名称

标的名称

标的数量

预算金额

（元）

预计采购日期

主要功能或目标

需满足的要求

1

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2-4英寸InP基高频高速集成电路工艺与测试平台(I期)

1批

2219万

2026年3月

本项目所需配置仪器设备旨在大力提升学校在半导体领域的科研水平，聚焦InP基器件工艺和InP基器件和电路的测试表征等方向开展科学研究，设备包括但不限于薄膜沉积、等离子体刻蚀、形貌测量、高频测量、低温探针台等，平台将以东莞为核心、立足广东、放眼全国、对接省内外高端仪器、量子计算、深空探测等领域对高性能InP基器件和电路的需求，围绕形成基线工艺、形成流片服务能力，促进创新成果的转化和孵化，完成“产学研用”的链接。

1.供应商参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录。

2.供应商必须提供产品的安装调试服务，并配合产品验收工作。

3．售后技术支持方案合理，提供技术培训及与产品领域相关的技术文档、客户案例作为参考。

4.供应商需提供产品的售后服务，响应时间不超过24小时。