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中山大学集成电路学院气浮隔振平台招标公告(原标题: 气浮隔振平台)

全部类型广东广州2026年02月02日

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截标时间：

申购单主题：	气浮隔振平台	申购单位：	集成电路学院	报价类型：	国内含税价
使用币种：	人民币	公示时间：	**** 17:32:33	申购备注：

商品名称	品牌厂商	型号	数量	售后服务
气浮隔振平台	依航科技	YH-QF-15-10	1

规格

平台规格型号 YH-QF-15-10 1、台面板厚度 6mm厚 SUS 430系列 1Cr17优质高导磁不锈钢表面密迪纹理处理，四周精密研磨，光滑平整，无凹陷，锐边倒角，控制变形技术:台面呈亚光纹理状、台体四周黑色亚光状，无油，洁净度高，维护方便，清理便捷 2、底板 5mm碳钢板，底面板双层防锈处理 3、台体厚度/重量台面厚度=200mm 台面重量210kg 4、台面离地高度 800mm 5、台体总尺寸（长*宽*高） 1500mm*1000mm*800mm 6、固定螺孔台面布M6螺孔阵距25mm×25mm 7、台体内状结构焊接空心蜂窝结构，包括上下面板、焊接井字形内衬和隔振防护板;便于实验附件的固定安装，面板采用高导磁不锈钢（SUS430系列1Cr17），表面不生锈，保证了实验室清洁度;内部井字形内衬板采用的是 4m 厚度钢板相互交叉焊接的结构，它能使面包板的上下板的连接更加牢固可靠，在降低芯板重量的情况下使整体刚度最大化，重量轻，强度高稳定性好。 8、侧板内层碳钢板，外层为黑色铝塑板，美观实用，四周用不锈钢钢板包角 9、振幅 ≤1um 10、台面平整精度 0.05mm/m2 11、表面粗糙度表面粗糙度为0.8μm 12、固有频率 1.0～2.0Hz 13、台体支撑系统气浮隔振（空气弹，隔振橡胶），内置4点气体隔振装置支撑系统（半膜片式空气弹簧），二层结构气室3个水平调节阀自动充气自动平衡、采用国产气动元件，静音无油气泵。支架为整体焊接式结构，稳定牢固，标配脚轮，支撑方式:4点支撑:调节范围+10mm。 14、隔振方式隔空气弹簧 15、台面调平方式自动充气调平 16、阻尼方式多小孔空气阻尼 17、工作压力 0.2～0.4 MPa 18、重复定位精度 ±0.1 mm 19、气源静音无油气泵

信息来源：https:****

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