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广东省科学院半导体研究所扫描透射电子显微镜采购项目市场调研公告2025-11-27

全部类型广东广州2025年11月28日

公告详情

点击登录查看扫描透射电子显微镜采购项目市场调研公告****

点击登录查看（以下简称“采购代理机构”）受点击登录查看（以下简称“采购人”）委托，现对“扫描透射电子显微镜”组织进行需求调研。为了解市****

一、项目概况

1、调研内容：

扫描透射电子显微镜1套

2、调研标的内容清单及主要服务要求：

需要实现的功能：

高分辨扫描透射电子显微镜用于集成电路高分辨率结构成像与分析、器件缺陷分析与失效分析、半导体材料界面与原子尺度分析等。

价格要求：

货款、设计、安装、随机零配件、标配工具、运输保险、调试、培训、质保期服务、各项税费（采购人为免税单位，如提供进口产品的需排除进口税费）及合同实施过程中不可预见费用等。

配置内容要求：

二次电子分辨率：≤0.7nm@15kV，≤1.1nm@1kV（非样品台减速模式下）；

电子束加速电压范围：0.02 kV~ 30 kV，着陆能量范围：20eV～30keV（非样品台减速模式下）；

配备五轴优中心马达驱动样品台，移动最大范围指标： X方向≥130 mm，Y方向≥130 mm，R=360°（旋转）；样品台Z方向最大移动范围：Z≥50 mm，双向倾斜，倾斜范围至少覆盖-10°至 +90°；

单张图片最大存储分辨率≥32k × 24k。

二、调研方式

有意向参与的单位可以向采购代理机构提供参数指标、设计方案、相关产业发展情况、市场供给情况、同类服务项目历史成交信息及其他需求相关情况意见或建议（须按照附件一：政府采购项目采购需求格式进行填写），请在本公告发出之日起的5个工作日内，以邮件PDF和word形式（PDF材料须加盖公章，并提供加盖公章的营业执照、注明联系人、联系电话）发送至采购代理机构邮箱：****@****bidding.com。采购人将根据调研意见情况，结合自身采购需求，形成采购文件。

三、需求调研截止日期、时间及公布媒体

1、递交截止日期和时间：****17:30（北京时间，以采购代理机构收到时间为准）。

2、本公告信息在点击登录查看网（www.****bidding.com）上公布。

四、单位联系方式

采购代理机构：点击登录查看

项目联系人：李小姐、苏先生

联系电话：****、020- ****

传真号码：****

电子邮箱：****@****bidding.com

联系地址：广州市****

邮政编码：510070

网址：www.****bidding.com

点击登录查看

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