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上海交通大学复合镀膜系统招标预告(原标题: 复合镀膜系统)

全部类型上海2025年09月12日

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复合镀膜系统
项目所在采购意向：	点击登录查看2025年10月政府采购意向
采购单位：	点击登录查看
采购项目名称：	复合镀膜系统
预算金额：	700.000000万元(人民币)
采购品目：	A****其他仪器仪表
采购需求概况：	含有电子束蒸镀腔、低温热蒸镀腔以及磁控溅射腔三个主要腔室。电子束蒸镀腔极限真空 lt;1.0x10-6Pa，含有4个蒸发源。磁控溅射腔极限真空 lt;1.0x10-7Pa，含有8个靶枪，可独立进气。热蒸发蒸镀室极限真空 lt;1.0x10-6Pa，样品台温度低于10K，热蒸发坩埚不少于3个，带有氦气进气系统，配有高精度流量控制仪。各腔室带有独立膜厚测量仪，膜厚均匀性好于±5%。
预计采购时间：	2025-10
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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