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上海交通大学电子束曝光机招标预告(原标题: 电子束曝光机)

全部类型上海2025年09月12日

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电子束曝光机
项目所在采购意向：	点击登录查看2025年10月政府采购意向
采购单位：	点击登录查看
采购项目名称：	电子束曝光机
预算金额：	3800.000000万元(人民币)
采购品目：	A****其他仪器仪表
采购需求概况：	电子束曝光机，2台，电子束曝光机要求为：1）分辨率：≤50 nm；2）加速电压：1–100 kV；3）光斑尺寸：≤16 nm；4）真空度： lt;10 Torr；5）定位精度：≤1 nm。供货期：签订合同之日起，24个月货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。
预计采购时间：	2025-10
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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