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天津大学多靶位超高真空磁控溅射镀膜系统招标公告(原标题: 天津大学 - 竞价公告（CB100562025000247）)

全部类型天津2025年06月13日

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发布时间：**** 11:13:34 截止时间：**** 10:00:00

申购主题：多靶位超高真空磁控溅射镀膜系统

报价要求：国产含税

发票类型：增值税专用发票

付款方式：货到验收合格后付款

收货地址：天津市/市辖区/南开区/****

供应商资质：

备注说明： ****

送货时间：合同签订后7天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

预算：人民币

采购内容	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件
多靶位超高真空磁控溅射镀膜系统	1.0/		北京众谱科技	CKJ-450	设备名称：多靶位超高真空磁控溅射镀膜系统型号：CKJ-450型品牌：北京众谱科技 1、可实现全自动控制镀膜，整个系统使用触摸屏和PLC全自动控制；具有手机远程控制功能；抽真空和镀膜都有一键模式； 2、利用机械泵和分子泵级连，可以实现镀膜室的极限真空度为：≤3×10-5Pa (经烘烤除气后)； 3、磁控靶：超高真空磁控靶，可满足10-8Pa真空条件； 4、膜厚均匀性：保证单次镀膜均匀性优于±2%； 5、薄膜表面粗糙度：小于1纳米； 6、所有靶枪可共同折向上面的样品中心，并可实现靶轴线与样品中心距离0～30mm可调，程序控制调整； 7、*压控仪自动调控工作压强，溅射控压时间：小于30秒； 8、样品库放置样品数量：6个，可通过多工位样品库实现自动样品交接，更换样品； 9、镀膜全程自动控制，输入镀膜参数，仪器自动抽真空并完成溅射过程，无需调节阀门等； 10、样品大升降：可在0-50mm范围内由程序控制调整；样品小升降：可在0-20mm范围内由程序控制调整。 11、交货期：2周 12、质保期：1年	按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）

信息来源：https:****

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