8英寸MEMS晶圆生产线之立式氧化炉国际招标公告(1)
全部类型安徽蚌埠2025年04月24日
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 立式氧化炉 | 1 | 高温氧化炉主要由炉体系统、传片系统、气路系统、电控系统等等部分组成。其他参数详见第八章 | 无 |
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