8英寸MEMS晶圆生产线之刷片机国际招标公告(1)
全部类型安徽蚌埠2025年04月24日
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 刷片机 | 2 | 擦片机机按照结构可分为Load/Unload单元、晶圆传输单元、翻转单元、晶圆正面清洗单元、晶圆背面清洗单元、控制单元、供液单元。其他参数详见第八章 | 无 |
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