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空天信息大学（筹）重点强化建设实验室集成电路设计与微纳加工设备采购项目

全部类型山东2025年03月28日

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空天信息大学（筹）重点强化建设实验室集成电路设计与微纳加工设备采购项目
项目所在采购意向：	点击登录查看2025年04月(至)09月政府采购意向
采购单位：	点击登录查看
采购项目名称：	空天信息大学（筹）重点强化建设实验室集成电路设计与微纳加工设备采购项目
预算金额：	6900.000000万元(人民币)
采购品目：	A**显微镜,A**电子光学及离子光学仪器
采购需求概况：	本项目用于空天信息大学（筹）重点强化实验室建设。根据实验室建设需求，拟通过采购EDA设计大学计划软件包、湿法清洗机。甩干机、光刻机、激光直写光刻机、深硅刻蚀机、气态氟化氢释放系统、电感耦合反应离子刻蚀、各向同性干法硅刻蚀（XeF）、氯基的RIE干法刻蚀、激光辅助玻璃刻蚀机、电镀、磁控溅射台、电子束蒸发台、低压化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积设备、原子层沉积设备（ALD）、扩散炉等设备，满足电子与集成电路学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。
预计采购时间：	2025-05
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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