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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所离子刻蚀显影系统招标预告(原标题: 离子刻蚀显影系统)

全部类型江苏苏州2025年01月07日

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离子刻蚀显影系统
项目所在采购意向：	点击登录查看2025年1至12月政府采购意向
采购单位：	点击登录查看
采购项目名称：	离子刻蚀显影系统
预算金额：	250.000000万元(人民币)
采购品目：	A****其他电工、电子生产设备
采购需求概况：	采购离子刻蚀显影系统1套，用于真空互联的前提下探索新的纳米加工技术开发，实现真空互联干膜光刻胶显影和无掩膜图形化，避免水氧接触，完成真空器件图形化。以缓冲腔与超高真空管道互联，缓冲腔真空度≤1×10-7Pa；反应室真空度≤5×10-5Pa；至少5路气体，H2、O2、Ar、N2等气体，同时预留5路供切换其他气体，均以MFC控制流量；可实现2英寸样品刻蚀深度100 nm，不均匀性≤ ±5%
预计采购时间：	2025-02
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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