2024年11月采购意向项目-全自动高低温射频滤波器/集成电路测试设备(498万)
全部类型广东广州2024年10月08日
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政府采购意向公告
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低温射频滤波器/集成电路测试设备(498 万)政府采购意
向
为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展
政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10 号)等有关规
定,现将
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射频滤波器/集成电路测试设备(498 万)采购意向公开如下:
预算
预计
序 采购项目 金额
采购品目 采购需求概况 采购 备注
号 名称 (万
时间
元)
1 全 自 动 高 A**** 拟购置设备为 8 英寸全自动高低温芯 498 2024-
低 温 射 频 5 集成电路 片 测 试 探 针 台 和 一 台 2 端 口 的 11
滤波器 /集 参数测量仪 20GHz 的网络分析仪,实现-60 至
成 电 路 测 300℃的高低温芯片测试表征,两者
试设备 均属于射频元器件测试的核心设备。
这套系统用于 8 英寸以下各种规格晶
圆、碎片、单粒芯片、基片等电域参
数的测量表征,进而实现对半导体器
件、工艺结构等进行设计验证、提参
建模、测试表征、工艺监控以及小批
量测试。实现 RF 射频半导体器件的
测量,获取器件的 S 参数、带宽、增
益、线性度、效率、噪声系数、压缩
点及效率等参数,属于一套从实验室
LAB 研发到晶圆厂 FAB 生产制造全
覆盖的高端在片测试用探针台。 主要
技术指标包括: 1.配置高低温全自动
探针台能满足 8 英寸及以下各种规格
晶圆、碎片、单粒芯片、基片、材料
等电参数的测量表征,实现 2 路 DC-
20GHz RF 测试。 2.探针台支持搭配
分 立 半 导 体 参 数 分 析 仪
B1500A 、 KEITHLEY 4200A-
SCS、各种源表 SMU、LCR、矢量网
络分析仪、频谱仪、信号源、示波器
等、以及 Keysight 4080 半导体参
数测试系统和 KEITHLEY S530 参数
测试系统等,真正实现半导体从 Lab
到 Fab 的全研制生命周期测量应用。
3.集成上下料单元,提供符合 SEMI
标准 4”、6”、8”晶片的 2 个 SEMI
Cassette station, 每个 Cassette
放 置 25 张 Wafer 。 除 此 之
外,Prober 也支持手动模式放置晶
圆。 4. 配置 GPIB 接口,与第三方测
试应用软件无缝集成。 5.探针台通过
仅通过升级附件,可进行直流-射频混
合、负载牵引和毫米波和太赫兹频段
测试。 6. 配置高低温控制系统,温
度范围:-60℃~300℃。 7. 温度分
辨率≤0.1℃;升降温速率要求-60℃
~25℃升温时间≤5 分钟,25℃~
300℃的升温时间≤27 分钟,300℃
~25℃降温时间≤15 分钟,25℃
~-60℃的降温时间≤15 分钟。
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体
采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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信息来源:http://www.yuncaitong.cn/publish/****/20M1ZPOA8ICYV6LH.shtml