晶圆级微纳加工平台
全部类型江苏南京2024年07月25日
晶圆级微纳加工平台 | |
项目所在采购意向: | 点击登录查看2024年9月政府采购意向 |
采购单位: | 点击登录查看 |
采购项目名称: | 晶圆级微纳加工平台 |
预算金额: | 1748.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****_电气物理设备 |
采购需求概况 : | 面向学校大力发展的新材料、新能源、电子信息和前沿物理等多个学科领域。平台包括镀膜、加工和表征模块; 镀膜配备高性能离子源和最新膜厚光控,保证高精度和均匀性,满足高性能光电子集成器件等高性能薄膜的需求; 电子束可以加工高精度纳米尺寸光电子器件,达到业界顶尖精度,满足绝大多数前沿器件的加工需求,可小批量生产; 微纳结构样品形貌、尺寸观测,配备了不同波长的激光器、探测器和低温台等,可对不同种类样品进行测试。 |
预计采购时间: | 2024-09 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。