松山湖材料实验室铟蒸发台设备采购项目
全部类型广东东莞2024年07月02日
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项目所在采购意向: | 点击登录查看2024年07月至2024年08月政府采购意向 |
采购单位: | 点击登录查看 |
采购项目名称: | 点击登录查看铟蒸发台设备采购项目 |
预算金额: | 200.000000万元(人民币) |
采购品目: | |
采购需求概况 : | 标的名称:铟蒸发台 标的数量:1 主要功能或目标:该设备主要用于微纳加工工艺中8英寸及以下晶片In柱蒸发制备工艺 需满足的要求:"主要技术指标和要求: 1)样品尺寸:8寸向下兼容,可进行碎片工艺; 2)蒸发入射角<7°; 3)工件台可控低温不高于-20℃,控温精度优于±3℃; 4)片内均匀性:≤±5%(8寸); 5)工艺重复性:≤±3%;" |
预计采购时间: | 2024-08 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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