微电子学院电子束蒸镀设备采购
全部类型江苏南京2024年06月25日
微电子学院电子束蒸镀设备采购 | |
项目所在采购意向: | 点击登录查看2024年7月政府采购意向 |
采购单位: | 点击登录查看 |
采购项目名称: | 微电子学院电子束蒸镀设备采购 |
预算金额: | 200.000000万元(人民币) |
采购品目: | 其他电工电子专用生产设备 |
采购需求概况 : | 电子束蒸镀设备,1套。主要参数包括,电子束蒸镀主系统: 1、工件台尺寸:圆形工件台,直径6英寸; 2、装载量:可装载一个6英寸样品或更小尺寸样品; 3、工件台降温:工件台可通水冷却,保证工艺温度不高于80℃; 4、工作台转速:0至20转/分钟可调; 5、电子枪功率:6千瓦; 6、坩埚数量:4*15CC; 7、极限真空:优于1E-5Pa; 8、抽气速率:工艺腔从大气抽到5E-4Pa的时间少于30分钟; 9、漏率:优于6E-3Pa.L/s; 10、最小镀膜厚度≤1nm,最大厚膜厚度≥3000nm; 11、真空测量系统的测量范围为大气到4E-7Pa; 12、晶振控制器,速率0.1~1 nm可调,速率精度0.01 nm/s; 13、镀膜均匀性:直6英寸范围内均匀性优于±2%; 14、镀膜重复性:批次间重复性优于±2%; 磁控溅射辅助模块: 15、工件台尺寸:圆形工件台,直径4英寸; 16、装载量:可装载一个4英寸样品或更小尺寸样品; 17、工件台加热:工件台最高加热温度为200℃,温度控制精度为±0.1℃; 18、工作台转速:0至20转/分钟可调; 19、直流溅射电源:1*500W; 20、射频溅射电源:1*300W; 21、靶枪:3*2英寸; 22、极限真空:优于1E-5Pa; 23、抽气速率:工艺腔从大气抽到5E-4Pa的时间少于30分钟; 24、漏率:优于6E-3Pa.L/s; 25、最小镀膜厚度≤1nm,最大厚膜厚度≥3000nm; 26、真空测量系统的测量范围为大气到4E-7Pa,工艺压力测量精度≤0.01mTorr; 27、镀膜均匀性:直4英寸范围内均匀性优于±2%; 28、镀膜重复性:批次间重复性优于±2% 28、镀膜重复性:批次间重复性优于±2% |
预计采购时间: | 2024-07 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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