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原子力扫描系统采购项目（XHGD-CG-2023177）采购公告

全部类型浙江杭州2023年11月13日

公告详情

采购清单1

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
原子力扫描系统	1	套

品牌
型号
预算单价	￥ 490000.00
技术参数及配置要求	1、AFM测头扫描系统一套（能适配真空环境，包含激光器装置、PSD装置、XYZ轴压电扫描器、辅助光学成像装置等），扫描范围XY方向最大100μm×100μm,Z方向最大10μm；2、AFM探针托定位装置（能适配现有专用的SThM热学探针托装置）3、AFM探针托一套（能适配APPNANO公司的扫描热探针）4、X轴电动位移台一套（能适配真空环境，负责AFM扫描头的X方向位置移动）：行程200mm，定位精度2μm；5、Y轴电动位移台一套（能适配真空环境，负责晶圆样品的Y方向位置移动）：行程200mm，定位精度2μm；6、Z轴电动升降台一套（能适配真空环境，负责晶圆样品的位置升降和趋近）行程20mm，定位精度2μm；7、真空吸附式样品载物台一套（负责晶圆样品扫描测试时的固定）；8、龙门架机械结构装置一套（能适配真空环境，用于安装AFM扫描头、X轴电动位移台、Y轴电动位移台、Z轴电动升降台、样品载物台等）9、气浮式被动隔振台一套（需定制设计，用于承载AFM机台装置、真空腔体装置，隔绝地面振动噪音对AFM扫描测试的影响）：系统高度噪音RMS≤0.05nm
参考链接
售后服务	服务网点:不限;电话支持:7x8小时;服务年限:一年;服务时限:报修后12小时;质保期:一年;

信息来源：http://www.yuncaitong.cn/publish/****/20LOWL1MHLS5M21M.shtml

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